厂务

• 无尘洁净室
• 冷冻水
• 热水
• CDA
• PCW
• RO水
• DI水
• 酸碱废水处理
• 有机废水处理
• 含砷废水处理
• 氢气
• 氮气

配套设备

• 氦检漏仪
• 石英件烘烤
• 石墨盘烘烤
• 含砷、磷过滤器清洗