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精度范围
晶体结构
高分辨XRD
PANalytical X'pert3 MRD
摇摆曲线、ω/2θ扫描，三轴晶分辨率12”
电学质量
Hall测试系统
Nanometrics HL5500PC
支持低温77K测试
光学质量
光致发光谱
Nanometrics RPMBlue
532nm激光器, 可测波长400-2040nm
掺杂浓度
电化学ECV
Nanometrics ECVpro
载流子浓度1E13~1E20cm
-3
，腐蚀深度 范围50nm~50μm
表面方阻
非接触薄膜电阻测试仪
Lehighton LEI1510EC
电阻率0.01-200Ω-cm
表面高阻
非接触薄膜高阻测试仪
SemiMap Corema-ER
电阻率1E5 ~1E12 ohm-cm
表面缺陷
表面缺陷分析
KLA Candela 8420
最小颗粒80nm直径
光学信息
分光光度计
PerkinElmer Lambda950
分光波长200-3300nm
材料厚度
台阶仪
KLA P-7
最高分辨率0.5Å
表面形貌
偏光显微镜
Leica DM3 XL
光学放大1000倍
表面形貌
扫描电子显微镜
FEI Apreo
可喷金，最小精度1nm