主要包括晶体结构，电学质量，光学质量，掺杂浓度，表面方阻，表面方阻，表面缺陷等
高分辨XRD
PANalytical X'pert3 MRD
摇摆曲线、ω/2θ扫描，三轴晶分辨率12”
Hall测试系统
Nanometrics HL5500PC
支持低温77K测试
光致发光谱
Nanometrics RPMBlue
532nm激光器, 可测波长400-2040nm
电化学ECV
Nanometrics ECVpro
载流子浓度1E13~1E20cm-3，腐蚀深度 范围50nm~50μm
非接触薄膜电阻测试仪
Lehighton LEI1510EC
电阻率0.01-200Ω-cm
非接触薄膜高阻测试仪
SemiMap Corema-ER
电阻率1E5 ~1E12 ohm-cm
表面缺陷分析
KLA Candela 8420
最小颗粒80nm直径
分光光度计
PerkinElmer Lambda950
分光波长200-3300nm
台阶仪
KLA P-7
最高分辨率0.5Å
偏光显微镜
Leica DM3 XL
光学放大1000倍
扫描电子显微镜
FEI Apreo
可喷金，最小精度1nm